| 问题 | 四氟化碳国家规定 |
| 释义 | 律师分析： 电子工业用气体 四氟化碳 本标准规定了瓶装电子工业用气体— 四氟化碳的技术要求、试验方法、检验规则及 标志、包装、运输、贮存和安全的要求。 本标准适用于氟和碳直接反应化合生成并经过纯化处理的四氟化碳产品。它主要用 于微电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀和化学气相， 以及太阳能硅片生产工艺。 分子式： CF 4 分子量： 88 . 0 0（ 按20 0 3年国际原子相对质量） 。 【法律依据】：《中华人民共和国标准化法》 第二条 本法所称标准（含标准样品），是指农业、工业、服务业以及社会事业等领域需要统一的技术要求。 标准包括国家标准、行业标准、地方标准和团体标准、企业标准。国家标准分为强制性标准、推荐性标准，行业标准、地方标准是推荐性标准。 强制性标准必须执行。国家鼓励采用推荐性标准。 |
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